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气体纯度常用的暗示办法--瑞泽来帮您!!!

气体纯度常用的暗示办法

气体分为单质气体、多元气体、混合气体和有机化合物气体等,以是可将构成气体的物资(或元素)称为该气体身分。是以气体纯度的含义可理解为:除本气体成份中,所露别的物资的几。比方:氮气的纯度,是指除N成份中,露的O2H2ArCO2H2O、金属、尘粒等杂质的几;氨气的纯度,是指除NH3成份中,含有的O2N2CO2H2O、尘粒等杂质的几;又如氮和氦的混淆气,是指除N2He成份中,含有的O2CO2H2O尘粒等杂质的几。

    气体纯度的提法有多种,如平凡杂、高纯气体、电子杂、特杂等,跟着超大规模集成电路(VLSI)和特大规模集成电路(ULSI)的成长,又有VLSIULSI级杂的超净气体。这些提法皆不非常切当,只是大略的讲了气体纯度的崎岖,没有真正阐明气体纯度的巨细。

气体纯度常用的暗示办法:

1用百分数暗示,如99%99.5%,99.9%,99.99%,99.999%,99.9999%,99.99999%等。
2“N”暗示,如3N5N4.8N5.5N6N7N等,N数量取(1)中的“9”的个数相对应,小数点后的数暗示不敷“9”的数。如4N99.99%),6N99.9999%,7N(99.99999%),4.8N(99.998%),5.5N(99.9995%)等。

   关于杂质含量有常量、微量和痕量等暗示,对低于微量和痕量杂质普通指ppm~ppb范畴。详细的杂质浓度:1ppm=10-4%1ppb=10-7%1ppt=10-10%2138com太阳集团

   按照气体纯度的差别,凡是又将气体纯度分为四级,即平凡气体、杂气体、高纯气体和超高纯气体,下表给出气体纯度品级和器件生产工艺上的利用。

气体品级

纯度要求

器件生产工艺上的利用

平凡气体

99.9%

普通器件

杂气体

99.99-99.999%

晶体管和晶闸管等

高纯气体

99.999-99.9999%

大规模集成电路和非凡器件等

超高纯气体

>99.9999%

超大规模集成电路和特大规模集成电路等 

 


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